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magnescale激光尺的特點及運用

發(fā)布時間:2022-08-03 點擊量:1806

magnescale激光尺的特點及運用

激光尺度的分辨率不僅要超越納米尺度,還要超越皮尺度。符合客戶要求的分辨率的開發(fā)速度就像摩爾定律*。Laserscale 可以提供的高分辨率和穩(wěn)定性支持先進的測量和定位控制。激光標尺在需要高精度和高分辨率的領域中不可少,例如下一代半導體制造和相機鏡頭模具加工。此外,我們通過使用 Z 傳感器將測量目標的范圍從 1D 擴展到 2D,再到 3D,并開發(fā)出具有高角度精度的編碼器,從而不斷預測需求。

*摩爾定律與半導體芯片的集成密度相關的定律,它規(guī)定密度每隔一到兩年就會翻一番。1965 年,英特爾的創(chuàng)始人之一戈登·摩爾宣布了這一經(jīng)驗法則。

激光尺的特點

  • 光柵干涉尺

    由于采用了自主研發(fā)的光柵干涉儀作為檢測原理,實現(xiàn)了不受溫度、氣壓、空氣湍流影響的測量和控制。

  • 全息
    標尺

    由于標尺以全息格式而不是繪圖格式制作,因此可以獲得具有良好線性度的輸出信號。

  • 優(yōu)秀的插補處理技術

    使用我們的插值電路和校正技術可以獲得出色的插值精度。


應用

  • 超精密載物臺(真空兼容)

  • 表面粗糙度輪廓測量儀

  • 半導體制造檢測設備

  • 非接觸式精細形狀測量

  • 異形磨床/導光板加工機

  • 非球面加工機

相關產(chǎn)品介紹

  • 系列

  • 規(guī)格

  • 類型名稱、材料

  • BS系列

    最高分辨率下午 2.1 點
    信號波長138納米
    低噪聲下午4點
    有效長度
    低膨脹玻璃420 毫米
    蘇打玻璃960mm
    熱膨脹系數(shù)
    低膨脹玻璃-0.7× 10-6 /℃
    蘇打玻璃8× 10-6 /°C
    最大響應速度400毫米/秒

    透射式超高分辨率
    激光標尺

    BS78、BS65
    刻度材料:低膨脹玻璃 (BS78)
    堿板玻璃(BS65)

  • BH系列

    最高分辨率下午 3.8 點
    信號波長250 納米
    有效長度640 毫米
    熱膨脹系數(shù)
    零玻璃0.1×10 -6 /°C
    無堿玻璃3.7× 10-6 /°C
    最大響應速度1,800 毫米/秒

    反射式超高分辨率
    激光標尺

    BH25
    刻度材料:零玻璃
    無堿玻璃

  • BL系列

    最高分辨率下午 6.1 點
    信號波長400納米
    有效長度570mm
    速度
    連接 BD700 時3,000 毫米/秒
    模擬輸出5,000 mm/s
    熱膨脹系數(shù)
    零玻璃0.1×10 -6 /°C
    無堿玻璃3.7× 10-6 /°C

    反射式高速
    激光標尺

    BL50H
    刻度材料:零玻璃
    無堿玻璃

  • BL系列

    最高分辨率10納米
    信號波長400納米
    有效長度
    低膨脹玻璃420 毫米
    蘇打玻璃1060 毫米
    熱膨脹系數(shù)
    低膨脹玻璃-0.7× 10-6 /℃
    蘇打玻璃8× 10-6 /°C
    最大響應速度3,000 毫米/秒

    透射式高速
    激光尺

    BL57
    刻度材料:低膨脹玻璃
    蘇打玻璃

  • BH系列

    最高分辨率1.5 拉德
    信號波長250 納米

    反射式超高分辨率
    激光標尺

    BH20
    刻度材料:白板玻璃



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